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    ASML未来四代EUV光刻机进度披露:正向1nm迈进

    2021-07-09 10:50:56

    日前,ASML产品营销总监MikeLercel向媒体分享了EUV(极紫外)光刻机的最新进展。 ASML现在主力出货的EUV光刻机分别是NXE:3400B和3400C,它们的数值孔径(NA)均为0.33,日期更近的3400C目前的可用性已经达到90%左右。 预计今年年底前,NXE:3600D将开始... [阅读详细]

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